派瑞林是一種保護性高聚物材料，派瑞林通過真空氣相沉積方法制備。派瑞林涂層具有很好的熱性能、化學(xué)穩(wěn)定性，可抵御酸堿、鹽霧、霉菌各種腐蝕性氣件的侵害，被廣泛應(yīng)用于航空航天、電子工業(yè)、醫(yī)療器械等方面的表面防護應(yīng)用。派瑞林涂層被譽為較優(yōu)秀的三防材料之一，本期百騰小編為您簡單分享：何為派瑞林CVD化學(xué)氣相沉積工藝?

一、派瑞林真空鍍膜工藝

常規(guī)派瑞林真空鍍膜設(shè)備，由蒸發(fā)室、裂解室、沉積室、低溫冷阱和真空泵5部分組成，其工藝方法及過程是，首先通過真空泵獲得所需的真空度；然后對蒸發(fā)室加熱到150℃將放置在蒸發(fā)室內(nèi)的固體派瑞林材料蒸發(fā)；接著對裂解室加熱到650℃以上，蒸發(fā)后通過裂解室的材料被裂解成單體分子；經(jīng)過裂解的單體分子在25℃左右的沉積室內(nèi)涂敷到基材表面生成保護性薄膜；對于沒有在沉積室內(nèi)被利用的材料則被低溫冷阱表面捕獲。

二、派瑞林真空鍍膜設(shè)備的鍍膜應(yīng)用領(lǐng)域

1、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于磁性材料領(lǐng)域

派瑞林獨特的制備工藝和優(yōu)異性能相結(jié)合，使它能對小型超小型磁材進行無薄弱點全涂敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型或者超小型磁材，幾乎都采用派瑞林鍍膜工藝作絕緣和防護涂層。

2、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于印制電路組件和元器件領(lǐng)域

鍍膜材料通過派瑞林真空鍍膜設(shè)備使得活性的對二甲苯雙游離基小分子氣在印制電路組件表面沉積聚合完成。氣態(tài)的小分子能滲透到包括貼裝件下面任何一個細小縫隙的基材上沉積，形成分子量約50萬的高純聚合物。

3、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于微電子集成電路領(lǐng)域

派瑞林的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的派瑞林涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進行刻蝕制圖，進行再金屬化，因此派瑞林（Parylene）不僅可用作防護材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)派瑞林（Parylene）涂敷過的集成電路芯片，其25um細直徑連接線，連接強度可提高5-10倍。

4、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于微電子機械系統(tǒng)（MEMS）領(lǐng)域

派瑞林（Parylene）能在0.2um厚時就完全沒有針孔，5um時就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動機構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護材料。

5、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于傳感器領(lǐng)域

派瑞林（Parylene）在傳感器領(lǐng)域中的應(yīng)用，除了作絕緣介質(zhì)外，更多用作防護材料，它能耐酸、堿和有機溶劑，對水汽和鹽霧等惡劣環(huán)境有極好的阻隔防護能力，用極薄的涂層提供良好的防護。

6、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于生物醫(yī)用電子領(lǐng)域

派瑞林不僅電性能，防護性能好，而且生物相溶性也好，它已通過美國FDA論證，滿足美國藥典生物醫(yī)用材料VI類標(biāo)準，被列為是一種可以在體內(nèi)長期植入使用的生物醫(yī)用材料。

7、派瑞林真空鍍膜設(shè)備有效應(yīng)用于光纖光纜接頭密封件領(lǐng)域

光纖光纜接頭在使用中可能遇到各種不同的環(huán)境，通常使用含有硅橡膠密封圈的接頭使光纜與環(huán)境相隔離，經(jīng)派瑞林涂敷后的硅橡膠密封圈，能更好的適應(yīng)各種惡劣環(huán)境，防止硅橡膠老化，延長密封圈的壽命。

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