什么是派瑞林?

它是一種透明無色的聚酯保護材料。 適用于室溫下的真空鍍膜，真空鍍膜壓力在10^-5托以下，而派瑞林鍍膜工藝在0.1托左右。 涂層的厚度可控制在1-100微米之間，該涂層是美國在60年代初開發(fā)的專利，首次應(yīng)用于美國軍用印刷電路板、航空航天和水下發(fā)射裝置的微電子元件領(lǐng)域，1972年被納入美國軍用標(biāo)準(zhǔn)：

MIL-I-46058C

微納米加工技術(shù)：化學(xué)氣相沉積工藝（CVD）

將粉末狀的納米原料放入真空納米涂層設(shè)備的蒸發(fā)室，通過150℃-180℃的溫度蒸發(fā)為氣態(tài)分子，在真空（1.0*10-2torr）作用下氣態(tài)的10nm以下納米分子進入到裂解室，在裂解室680℃-700℃的高溫裂解為具有反應(yīng)活性的單體，活性單體與單體之間重新聚合，形成一層致密無針孔的納米膜層。