派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS的納米鍍膜應(yīng)用有哪些？首先何為MEMS？MEMS的全稱為Micro-ElectroMechanicalSystem，即“微機械機電系統(tǒng)”，由于MEMS器件的尺寸可以做在幾毫米乃至更小的傳感器裝置，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級，因此，對于鍍膜防護的要求也會更加嚴苛。

本期，百騰小編就來簡單介紹派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS領(lǐng)域的納米鍍膜應(yīng)用。

MEMS微機電系統(tǒng)優(yōu)勢

MEMS微機電系統(tǒng)，例如目前應(yīng)用于主流的半導體行業(yè)，采用微米技術(shù)在芯片上制造微型機械，并將其與對應(yīng)電路集成為一個整體的技術(shù)，該技術(shù)是在傳統(tǒng)的半導體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的，隨著消費類電子市場需求量的不斷攀升，市場對核心電子器件MEMS具有較大的需求量。

MEMS器件市場應(yīng)用領(lǐng)域

MEMS器件涵蓋射頻MEMS、壓力傳感器、麥克風、加速度計、陀螺儀、慣性組合等諸多產(chǎn)品類型，廣泛應(yīng)用于消費電子、汽車、工業(yè)、醫(yī)療、通信等場景。

1.慣性傳感器：加速度器和陀螺儀。比如無人機，虛擬現(xiàn)實和體感輸入（智能手機、PS手柄等），汽車安全氣囊和ABS防抱死系統(tǒng)；

2.噴墨打印機。壓電噴墨頭，MEMS產(chǎn)品應(yīng)用于打印機的熱驅(qū)動；

3.投影儀DLP芯片。目前全世界大于90%的投影儀當中都會用到MEMS產(chǎn)品；

4.壓力傳感器。MEMS產(chǎn)品用于GPS、登山手表和智能手機上；

5.麥克風。MEMS的麥克風也是近幾年才取代了過去磁感線圈式的麥克風。MEMS麥克風已經(jīng)基本替換了大部分手機中的傳統(tǒng)麥克風。即多孔位的壓力傳感器。

派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS的納米鍍膜應(yīng)用

派瑞林（Parylene）

派瑞林（Parylene）是一種對二甲苯的聚合物,早期由MichaelMojzeszSwarc在1947年發(fā)現(xiàn),1965年Wil2liamFGorham發(fā)展了一種可行的聚合物沉積系統(tǒng)之后,由美國UnionCarbide公司商業(yè)化的一種新的敷形涂層材料。派派瑞林（Parylene）薄膜是一種無支鏈、高結(jié)晶、分子量超過50萬的聚合物。根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同,派瑞林（Parylene）可分為N、C、D、F、AF4型等多種類型,主要區(qū)別在于分子上取代基不同,分子式的不同也決定了其熱穩(wěn)定性能和絕緣性能等有所不同,派瑞林（Parylene）的幾種材料。其中,C型聚對二甲苯(Parylene C)薄膜涂層是目前使用較廣泛的一種。派瑞林（Parylene）薄膜具有防潮、絕緣、耐腐蝕、生物相容性、無針孔涂層、良好的機械性能和熱穩(wěn)定性,廣泛應(yīng)用在航空、航天、軍工、微電子、半導體、醫(yī)療、文物保護等領(lǐng)域。

派瑞林（Parylene）化學氣相沉積工藝(CVD)

派瑞林（Parylene）的制備采用化學氣相沉積工藝(CVD),其原料是對二甲苯環(huán)二聚體(不同類型的Parylene對應(yīng)不同取代基的對二甲苯環(huán)二聚體原料)。制備的沉積過程大體可分為三步:首先在真空,150℃-180℃下將固態(tài)原料升華成氣態(tài);二聚體氣體進入裂解腔,在680℃-700℃下,二聚體的分子鍵被斷開,裂解成具有反應(yīng)活性的單體;在室溫的真空沉積室里,派瑞林（Parylene）氣態(tài)單體在器件的表面上沉積并聚合成均勻無針孔的防護涂層。

派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS的納米鍍膜應(yīng)用

派瑞林（Parylene）作為可植入材料,主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物體內(nèi)復(fù)雜的體液環(huán)境,會腐蝕大多數(shù)的MEMS和微電子材料,然而卻不會影響Parylene,這是由于Parylene不會在體液環(huán)境下被水降解。

派瑞林（Parylene）作為植入微電極陣列和微器件的包裝材料,實驗報道具有很好的生物性容性和生物穩(wěn)定性,能夠長期植入生物體中,此外,由于其良好的防滲透性,能夠很好地保護微器件不被腐蝕。Parylene以其優(yōu)異的生物相容性(美國FDA-VI級認證)和生物穩(wěn)定性,作為體內(nèi)長期植入使用的生物醫(yī)用材料,已經(jīng)被用于心臟起搏器、腦電極、植入式傳感器和高頻手術(shù)刀等微型電子醫(yī)療器械和可植入微系統(tǒng)中。

派瑞林（Parylene）由于其優(yōu)異的性能,逐漸成為MEMS領(lǐng)域青睞的聚合物材料。Parylene通過CVD在室溫下制備,材料具有無應(yīng)力、無針孔覆蓋和良好的生物相容性等優(yōu)異的特性。本期主要介紹了派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS的納米鍍膜應(yīng)用。

百騰Penta將會持續(xù)為大家提供覆膜技術(shù)行業(yè)資訊和相關(guān)問題解答。百騰Penta開發(fā)的PVD真空鍍膜機，CVD真空鍍膜機，XeF2二氟化氙蝕刻機，真空脫氣爐，二氟化氙材料、派瑞林材料，提供派瑞林(Parylene)納米涂層加工。并可根據(jù)不同需求設(shè)計定制真空鍍膜設(shè)備和與其配套的相關(guān)設(shè)備系統(tǒng)，幫助企業(yè)產(chǎn)品提升更好防護品質(zhì)。