隨著現(xiàn)代醫(yī)療健康領(lǐng)域技術(shù)的不斷發(fā)展，先進的探測醫(yī)療裝備所應(yīng)用到的MEMS微電子領(lǐng)域傳感系統(tǒng)越來越受到業(yè)界的關(guān)注，醫(yī)生通過MEMS高精度柔性觸力傳感系統(tǒng)更好地為病人做醫(yī)療服務(wù)。由于MEMS集成裝置上的元器件線路和元器件對于外界環(huán)境較為敏感；如何通過派瑞林鍍膜技術(shù)助力提升MEMS傳感器防護性能？

派瑞林薄膜特點

派瑞林薄膜具有獨特的材料屬性，被FDA認(rèn)可為第VI類高分子醫(yī)用材料，它具有更優(yōu)良的生物相容性、低滲透性、化學(xué)惰性和非常低的毒性。組織培養(yǎng)表明：人類細胞更容易在派瑞林表面生長。

派瑞林作為醫(yī)用涂層通過專業(yè)的制備涂覆于醫(yī)療器械表面，該涂層超薄敷形性好、耐腐蝕、與人體組織及血液良好相容，它不僅提供了惰性、生物相容的隔離層，還可有效的防止外界的化學(xué)品、水分和體液的侵蝕。

派瑞林在MEMS產(chǎn)品領(lǐng)域的鍍膜防護應(yīng)用

MEMS集成裝置尤其是在生物傳感器方面，已經(jīng)成為心率、血壓等涉及到身體健康生物信號監(jiān)測的重要器件，在嚴(yán)苛的環(huán)境中膜層防護性要求能具有較好的穩(wěn)定性是關(guān)鍵。涂覆了派瑞林的工業(yè)級傳感器，為手術(shù)機器人功能提升與柔性電子發(fā)展提供重要的技術(shù)支撐。

除了醫(yī)療健康領(lǐng)域，MEMS柔性傳感系統(tǒng)可應(yīng)用的領(lǐng)域還包括運動行業(yè)、可穿戴機械設(shè)備、人造皮膚等等。如將柔性壓力傳感器內(nèi)置在鞋子中，可以實時檢測體重、發(fā)力姿勢、身體平衡性等；可穿戴設(shè)備中的柔性傳感器可以感知人的動作和用力情況，協(xié)助佩戴者提起重物、快速走動等；集成了柔性觸力傳感器的人造皮膚，可以用于義肢上，感知佩戴者的動作意圖并協(xié)助其完成想要的動作。作為納米涂層材料之一，派瑞林鍍膜技術(shù)更好的提升了MEMS產(chǎn)品的表面防護性能。

百騰Penta將會持續(xù)為大家提供覆膜技術(shù)行業(yè)資訊和相關(guān)問題解答。百騰Penta開發(fā)的PVD真空鍍膜機，CVD真空鍍膜機，XeF2二氟化氙蝕刻機，真空脫氣爐，二氟化氙材料、派瑞林材料，提供派瑞林(parylene)納米涂層加工。并可根據(jù)不同需求設(shè)計定制真空鍍膜設(shè)備和與其配套的相關(guān)設(shè)備系統(tǒng)，幫助企業(yè)產(chǎn)品提升更好防護品質(zhì)。