微機(jī)電(MEMS)系統(tǒng)開啟了智能產(chǎn)品的新紀(jì)元，該技術(shù)為設(shè)備帶來(lái)了生命，它們可以感知、可以控制硅基微傳感器到針尖大小的微執(zhí)行器的整個(gè)系統(tǒng)。

用于MEMS和納米技術(shù)的生物醫(yī)學(xué)聚對(duì)二甲苯（Parylene）和涂層技術(shù)是制造商提高對(duì)其發(fā)明的保護(hù)水平以及產(chǎn)品整體質(zhì)量增長(zhǎng)的方式。在處理如此小規(guī)模的技術(shù)時(shí)，適當(dāng)保護(hù)設(shè)備至關(guān)重要。

派瑞林納米鍍膜技術(shù)有助于嚴(yán)苛環(huán)境中的微機(jī)電(MEMS)保護(hù)

生物醫(yī)學(xué)納米技術(shù)產(chǎn)品和MEMS的電子元件可能會(huì)遇到需要額外保護(hù)的惡劣環(huán)境。針對(duì)微機(jī)電(MEMS)和生物醫(yī)學(xué)納米技術(shù)組件的苛刻條件所需的一些保護(hù)類型包括：

一、Parylene為MEMS傳感器極端環(huán)境下的熱保護(hù)

在油氣鉆井傳感器等應(yīng)用中，微機(jī)電(MEMS)需要在其極端工作環(huán)境中保持熱穩(wěn)定性。由于它們經(jīng)常用于石油、天然氣和其他類型的敵對(duì)鉆井和深井勘探，因此組件上的所有組件都需要耐受極端溫度、壓力和流體暴露。

Parylene的超薄涂層可以保護(hù)MEMS傳感器，而不會(huì)改變?cè)O(shè)備的尺寸或影響傳感器以任何方式執(zhí)行的能力。

熱電設(shè)備也受益于微型機(jī)器保護(hù)派瑞林（Parylene）。這是由于它們?cè)跓峄蚶洵h(huán)境之間可互換的應(yīng)用中的使用。這也適用于用于航空航天和空間應(yīng)用的電源開關(guān)中的 MEMS。Parylene 可以有效防止極端高度和深空環(huán)境的影響，并且是經(jīng)過(guò)軍用規(guī)格認(rèn)證的涂層。

二、Parylene為微流體傳感器器件的防潮保護(hù)作用

當(dāng)MEMS和生物醫(yī)學(xué)聚對(duì)二甲苯技術(shù)用于可能發(fā)生電氣和濕氣損壞的設(shè)備時(shí)，生物醫(yī)學(xué)聚對(duì)二甲苯不僅可以屏蔽設(shè)備組件，還可以延長(zhǎng)產(chǎn)品在這些環(huán)境中的使用壽命。

一般芯片實(shí)驗(yàn)室使用和開發(fā)的微流體設(shè)備，需要對(duì)通道材料進(jìn)行防潮保護(hù)，其中流體在微米厚的通道中進(jìn)行分析、分配或移動(dòng)。Parylene的超薄涂層可以為通道和整個(gè)設(shè)備提供均勻且無(wú)針孔的保護(hù)。當(dāng)微流體裝置被設(shè)計(jì)為植入物時(shí)，Parylene具有生物相容性、生物穩(wěn)定性，并在醫(yī)療行業(yè)中備受推崇。

三、Parylene鍍膜技術(shù)的新興應(yīng)用

基于MEMS晶圓的 'MOEMS '（微光機(jī)電系統(tǒng)）的不斷發(fā)展，Parylene鍍膜技術(shù)以其無(wú)針孔性、均勻性等特點(diǎn)是微機(jī)電產(chǎn)品的優(yōu)質(zhì)保護(hù)涂層的理想選擇。由于沒(méi)有填充劑干擾或降低設(shè)備之間的光信號(hào)或傳輸速率，所以，Parylene是不錯(cuò)的保形涂層材料。

四、生物醫(yī)學(xué)Parylene鍍膜技術(shù)和微型機(jī)器保護(hù)應(yīng)用

生物醫(yī)學(xué)聚對(duì)二甲苯（Parylene）是行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)保形涂層材料的替代品。這種類型的微型機(jī)器保護(hù)應(yīng)用于超薄涂層，以保護(hù)生物醫(yī)學(xué)納米技術(shù)的產(chǎn)品。生物醫(yī)學(xué)聚對(duì)二甲苯（Parylene）的較新發(fā)展產(chǎn)生了新的配方，提供更小的分子結(jié)構(gòu)和很好的熱和介電等保護(hù)作用。

綜上所述，Parylene超薄涂層是保護(hù)微組件和提高微機(jī)電 (MEMS)系統(tǒng)使用壽命性能較有效方法。

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