派瑞林(Parylene)由于其優(yōu)異的性能, 逐漸成為微電子領(lǐng)域青睞的聚合物材料。Parylene通過(guò)CVD在室溫下制備, 材料具有無(wú)應(yīng)力、無(wú)針孔覆蓋和良好的生物相容性等優(yōu)異的特性。以下就有百騰小編為百騰的新老朋友們簡(jiǎn)單介紹:派瑞林(Parylene)應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品防護(hù)應(yīng)用。
派瑞林(Parylene)在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國(guó)外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。
派瑞林(Parylene)是一種具有優(yōu)異性能的敷形涂層材料,問(wèn)世后首先在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C允許作為軍用印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為0.0005-0.002英寸。
派瑞林(Parylene)氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí),在工作上有很強(qiáng)的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒(méi)有溶劑、助劑,即使在0.1微米厚也沒(méi)有針孔,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜,沒(méi)有通常涂層的固化過(guò)程和固化引起的收縮應(yīng)力,對(duì)工件能進(jìn)行表面加固,但不會(huì)引起傷害,也沒(méi)有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。
派瑞林(Parylene)材料本身有很優(yōu)異的物理機(jī)械性能和電性能,不僅機(jī)械強(qiáng)度好,摩擦系數(shù)低,水汽透過(guò)率低,而且介電強(qiáng)度高,絕緣電阻高;介質(zhì)損耗和介電常數(shù)也比較低,作為防護(hù)涂層它能覆蓋從工頻到10GHZ以上頻率段電路使用。
作為電子電路的防護(hù)涂層,派瑞林(Parylene)又稱為派拉倫,它不需另加防霉劑,本身防霉能達(dá)零級(jí)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中,與其它涂層相比,派拉倫防護(hù)的電路電阻幾乎不下降,其它涂層則都有較大的下降。很薄的派拉倫涂層能提供優(yōu)異的防護(hù)性能,還有利于電路板工作熱量的消散,因此作為防護(hù)涂層派拉倫能使電路具有更高的可靠性,特別是小型高密集度電子電路的防護(hù),派拉倫更顯示出其獨(dú)到的優(yōu)勢(shì)。
派拉倫(Parylene)應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)
第一、Parylene能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工;
第二、Parylene與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性;
第三、Parylene在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能;
第四、Parylene對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性。
以上為派拉倫(Parylene)產(chǎn)品在電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)的涂敷防護(hù)應(yīng)用,提升電子產(chǎn)品的更高性價(jià)比,更好的提升了電子行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。
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