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鍍膜涂層加工領(lǐng)域 百騰在Parylene等特殊涂層領(lǐng)域具有強(qiáng)大的開(kāi)發(fā)創(chuàng)新能力,擁有成熟穩(wěn)定的生產(chǎn)工藝以及面向全球的市場(chǎng)運(yùn)營(yíng)能力
派瑞林(Parylene)真空鍍膜技術(shù)在微電子、半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間:2020-12-29 23:24:00 點(diǎn)擊次數(shù):1913

派瑞林(Parylene)由于其優(yōu)異的性能, 逐漸成為微電子領(lǐng)域青睞的聚合物材料。Parylene通過(guò)CVD在室溫下制備, 材料具有無(wú)應(yīng)力、無(wú)針孔覆蓋和良好的生物相容性等優(yōu)異的特性。以下就有百騰小編為百騰的新老朋友們簡(jiǎn)單介紹:派瑞林(Parylene)應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體行業(yè)的產(chǎn)品防護(hù)應(yīng)用。

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派瑞林(Parylene)在微電子領(lǐng)域,近些年P(guān)arylene應(yīng)用發(fā)展較快,真空氣相沉積制備的Parylene不僅可制精細(xì)尺寸的涂層,而且該涂層可用微電子的加工工藝進(jìn)行刻蝕加工圖形。它除了作為微電子器件鈍化材料、引線加固封裝材料外,在微米以下超大規(guī)模集成電路制作中,還作為一種低介電常數(shù)材料用作集成電路的介電材料,特別是氟代Parylene,更被國(guó)外集成電路研究者所青睞,用作多層集成超大規(guī)模集成電路的層間絕緣介質(zhì)。

 

派瑞林(Parylene)是一種具有優(yōu)異性能的敷形涂層材料,問(wèn)世后首先在電子領(lǐng)域得到了應(yīng)用。1972年列入美軍標(biāo)46058C允許作為軍用印刷電路板的敷形涂層材料,涂層厚度為0.0005-0.002英寸。

 

派瑞林(Parylene)氣相沉積涂敷工藝涂敷時(shí),在工作上有很強(qiáng)的滲透性,能滲透到SMT貼片工件的底部和工作表面疏松的毛細(xì)孔中,真正形成完全敷形,均勻一致的防護(hù)涂層。Parylene氣相沉積涂敷工藝沒(méi)有溶劑、助劑,即使在0.1微米厚也沒(méi)有針孔,氣態(tài)小分子在工作表面直接聚合成固態(tài)的涂層薄膜,沒(méi)有通常涂層的固化過(guò)程和固化引起的收縮應(yīng)力,對(duì)工件能進(jìn)行表面加固,但不會(huì)引起傷害,也沒(méi)有因表面張力而引起的涂層彎月面狀不均勻。

 

派瑞林(Parylene)材料本身有很優(yōu)異的物理機(jī)械性能和電性能,不僅機(jī)械強(qiáng)度好,摩擦系數(shù)低,水汽透過(guò)率低,而且介電強(qiáng)度高,絕緣電阻高;介質(zhì)損耗和介電常數(shù)也比較低,作為防護(hù)涂層它能覆蓋從工頻到10GHZ以上頻率段電路使用。

 

作為電子電路的防護(hù)涂層,派瑞林(Parylene)又稱為派拉倫,它不需另加防霉劑,本身防霉能達(dá)零級(jí)。在鹽霧實(shí)驗(yàn)中,與其它涂層相比,派拉倫防護(hù)的電路電阻幾乎不下降,其它涂層則都有較大的下降。很薄的派拉倫涂層能提供優(yōu)異的防護(hù)性能,還有利于電路板工作熱量的消散,因此作為防護(hù)涂層派拉倫能使電路具有更高的可靠性,特別是小型高密集度電子電路的防護(hù),派拉倫更顯示出其獨(dú)到的優(yōu)勢(shì)。

 

派拉倫(Parylene)應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域之優(yōu)點(diǎn)

第一、Parylene能進(jìn)行微米級(jí)微細(xì)制作和加工;

第二、Parylene與其它微細(xì)結(jié)構(gòu)材料有很好的相容性;

第三、Parylene在微細(xì)結(jié)構(gòu)中仍具有優(yōu)良的電性能和物理機(jī)械性能;

第四、Parylene對(duì)微電子機(jī)械系統(tǒng)的使用環(huán)境有很好的相容性和防護(hù)性。

 

以上為派拉倫(Parylene)產(chǎn)品在電子行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)的涂敷防護(hù)應(yīng)用,提升電子產(chǎn)品的更高性價(jià)比,更好的提升了電子行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)品的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

 

百騰Penta將會(huì)持續(xù)為大家提供覆膜技術(shù)行業(yè)資訊和相關(guān)問(wèn)題解答。百騰Penta開(kāi)發(fā)的PVD真空鍍膜機(jī),CVD真空鍍膜機(jī),XeF2二氟化氙蝕刻機(jī),真空脫氣爐,二氟化氙材料、派瑞林材料,提供派瑞林Parylene納米涂層加工。并可根據(jù)不同需求設(shè)計(jì)定制Parylene真空鍍膜設(shè)備和與其配套的相關(guān)設(shè)備系統(tǒng),幫助企業(yè)產(chǎn)品提升更好防護(hù)品質(zhì)。


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