Parylene鍍膜工藝以其獨(dú)特的氣相沉積技術(shù)，為精密元件提供了卓越的防護(hù)屏障。作為一項(xiàng)高度專業(yè)化的表面處理技術(shù)，Parylene鍍膜工藝流程不僅涉及精密的設(shè)備控制，還需嚴(yán)格遵循科學(xué)的操作規(guī)范。今天，小編帶你了解一下Parylene鍍膜工藝的核心流程。

一|表面預(yù)處理

• 基材處理-清洗：

• 原料準(zhǔn)備：

準(zhǔn)備固態(tài)的Parylene二聚體粉末作為鍍膜材料，確保純度和質(zhì)量，避免雜質(zhì)影響鍍膜質(zhì)量。原料需儲(chǔ)存在干燥、避光、密封的容器中，以防止吸濕和分解。

• 設(shè)備檢查：

三|鍍膜過程

• 真空環(huán)境建立：

• 原料蒸發(fā)：

• 熱解與裂解：

氣態(tài)二聚體在真空作用下進(jìn)入裂解爐，爐內(nèi)溫度升至650~700℃（具體溫度可能因設(shè)備和工藝而異），高溫將二聚體分子的兩個(gè)側(cè)鏈碳碳鏈裂解，生成穩(wěn)定的活性單體——聚對(duì)二甲苯單體。

• 沉積與聚合：

• 涂層固化：

• 真空解除：

鍍膜完成后，關(guān)閉加熱爐，停止加熱，等待設(shè)備冷卻至安全溫度后，解除真空環(huán)境，打開腔室門取出鍍好膜的基材。

• 質(zhì)量檢驗(yàn)：

對(duì)鍍膜后的基材進(jìn)行質(zhì)量檢驗(yàn)，包括膜層厚度、均勻性、附著力、耐腐蝕性等性能測(cè)試，確保鍍膜質(zhì)量符合要求?？刹捎蔑@微鏡觀察、膜厚測(cè)量?jī)x、附著力測(cè)試儀等設(shè)備進(jìn)行檢測(cè)。

• 溫度控制：

精確控制加熱爐和裂解爐的溫度。固態(tài)Parylene原料在120~180℃下升華成氣態(tài)，然后在650~700℃左右裂解成活性單體。溫度波動(dòng)可能影響原料的升華和裂解效果。

• 氣流控制：

確保氣態(tài)原料在裂解后能夠順利進(jìn)入沉積腔室，并在基材表面均勻沉積。氣流速度、壓力和分布需精確控制。

• 鍍膜均勻性：

監(jiān)控鍍膜過程中的均勻性，確?；谋砻娓鲄^(qū)域鍍膜厚度一致?？赏ㄟ^調(diào)整基材位置、旋轉(zhuǎn)速度等參數(shù)來改善均勻性。

• 安全操作：

操作過程中，應(yīng)遵循安全操作規(guī)程，避免燙傷、電擊意外事故發(fā)生。

• 環(huán)境控制：

注意控制鍍膜環(huán)境的溫度、濕度和清潔度等參數(shù)，以保證鍍膜質(zhì)量。

• 設(shè)備維護(hù)：

定期對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢查和維護(hù)，確保其正常運(yùn)行和使用效果。

• 操作培訓(xùn)：

對(duì)操作人員進(jìn)行專業(yè)培訓(xùn)，提高其操作技能和安全意識(shí)。