傳統(tǒng)氣壓傳感器使用的樹脂封裝可能會因貼裝過程中產(chǎn)生的應(yīng)力而導(dǎo)致性能變化。相比之下，百騰科技采用派瑞林(Parylene)鍍膜防護封裝技術(shù)，可較大限度地減少應(yīng)力引起的性能波動。這消除了采用樹脂封裝的傳感器貼裝時的布局限制，有助于提高系統(tǒng)設(shè)計的靈活性。

用途：經(jīng)Parylene涂敷后的產(chǎn)品具有極高的絕緣強度和耐高低溫、抗腐蝕、耐酸堿、潤滑、防塵、防潮、防銹、透明、防水、抗老化、生物相容性等作用

適用范圍：航空航天、電路板、磁性材料、傳感器等領(lǐng)域

派瑞林鍍膜技術(shù)在MEMS氣壓傳感器領(lǐng)域應(yīng)用特點

Parylene薄膜具有柔韌的特性, 而且有較好的機械特性、低成本、易制作等優(yōu)點。Parylene以其優(yōu)良的電性能已經(jīng)廣泛應(yīng)用在微電子產(chǎn)業(yè)和醫(yī)療產(chǎn)業(yè)中。Parylene是在真空氣相沉積工藝下沉積而成, 透明且具有良好的機械強度, 材料無應(yīng)力,與集成電路制造工藝相兼容, 同時具有很好的生物相容性。隨著MEMS技術(shù)的進一步發(fā)展,Parylene鍍膜工藝以其特有的優(yōu)點越來越受到MEMS領(lǐng)域的青睞, 應(yīng)用到從微結(jié)構(gòu)到集成微流體系統(tǒng)中。同時, 微傳感器(MEMS)的發(fā)展要求使用生物相容性的材料,這更促進了Parylene在可植入微系統(tǒng)等微傳感器(MEMS)上的應(yīng)用。